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    ASML寻备胎：半导体制造关键原料面临断供

      [  中关村在线 原创  ]   作者：淼淼小鬼

    芯研所2月26日消息，当地时间周三，ASML公司CEO表示该公司正在为工厂使用的少量氖气寻找其他来源。该公司发言人表示，尽管乌克兰是世界上最大的氖气生产国，但阿斯麦使用的氖气中只有不到20%来自该国。

    ASML寻备胎：半导体制造关键原料面临断供
    芯研所采编

    氖气是惰性气体中的一种，在半导体工艺中惰性气体是一种重要材料，在DUV深紫外光光刻时代，产生DUV光源就需要多种惰性气体，然后与卤素分子混合，再使用电子束能量激发才能产生DUV波长的光，最后再用于芯片制造。

    来自EET-China的报道称，中国特种气体市场资深分析师任路则表示，虽然氖、氪、氙为半导体行业生产所必需，但是其绝对使用量并不高，作为钢铁行业的副产品，全球市场体量不是很大。“中国是全球钢铁大国，对于这些稀有气体的纯化技术已经实现了突破，生产工艺也比较成熟，不再是能够‘卡中国脖子’的技术了。”

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