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    台积电A14制程不采用High-NA EUV

      [  中关村在线 原创  ]   作者：十三号胡同
    diy.zol.com.cn true https://diy.zol.com.cn/979/9790164.html report 713 台积电业务开发资深副总裁张晓强近日表示，公司在A14制程的开发中将不采用High-NA EUV光刻技术。据悉，A14仍将基于现有的EUV光刻设备进行制造。台积电方面指出，在当前技术条件下，A14制程无需引入High-NA EUV即可达成预期的性能、晶体管密度及良品率目标。根据介绍，A1...
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