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    加速EUV工艺提升Dram竞争力 三星或将于2023年量产光罩护膜

      [  中关村在线 原创  ]   作者:Martin
    diy.zol.com.cn true https://diy.zol.com.cn/772/7729962.html report 1135 芯研所综合报道,为了进一步提升Dram制造工艺,提升Dram市场竞争力,三星正在加紧技术更新,引入更加先进制造工艺。据THE ELEC报道,知情人士指出,三星极有可能使用ASML合作伙伴三井化学制造的光罩护膜。ASML在2019年宣布同意将EUV光罩护膜组装技术授权予日商三井化学,...
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