热点:

    ASML第二代EUV光刻机跳票3年 售价高昂

      [  中关村在线 原创  ]   作者:淼淼小鬼

    ASML是全球唯一一家量产EUV光刻机的,台积电、三星、Intel的7nm、5nm及未来的3nm、2nm都要依赖EUV光刻机,单台售价超过1亿美元,成本极高。

    ASML第二代EUV光刻机跳票3年 售价高昂

    ASML的EUV光刻机目前使用的是第一代,EUV光源波长在13.5nm左右,物镜的NA数值孔径是0.33,发展了一系列型号。其中最早量产出厂的是NXE:3400B,产能有限,一小时生产晶圆是125PWH,目前的出货主力是NXE:3400C,产能提升到135WPH,今年底还有NXE:3600D系列出货,产能再进一步提升到160WPH。

    第二代EUV光刻机会是N XE:5000系列,其物镜的NA将提升到0.55,进一步提高光刻精度,半导体工艺突破1nm工艺就要靠下一代光刻机了。这代EUV光刻机NXE:5000系列跳票三年,要到2025-2026年才有可能问世了。二代EUV光刻机的价格预计轻松达到3亿美元,是现有EUV光刻机的2-3倍,这就意味着未来的芯片工艺成本极其昂贵。

    本文属于原创文章,如若转载,请注明来源:ASML第二代EUV光刻机跳票3年 售价高昂https://diy.zol.com.cn/770/7701194.html

    diy.zol.com.cn true https://diy.zol.com.cn/770/7701194.html report 688 ASML是全球唯一一家量产EUV光刻机的,台积电、三星、Intel的7nm、5nm及未来的3nm、2nm都要依赖EUV光刻机,单台售价超过1亿美元,成本极高。ASML的EUV光刻机目前使用的是第一代,EUV光源波长在13.5nm左右,物镜的NA数值孔径是0.33,发展了一系列型号。其中最早量产出厂的...
    • 猜你喜欢
    • 最新
    • 精选
    • 相关
    推荐经销商
    投诉欺诈商家: 010-83417888-9185
    • 北京
    • 上海
    • DIY组装电脑
    • 新品上市
    推荐问答
    提问
    0

    下载ZOL APP
    秒看最新热品

    内容纠错